Pelcotec™ CDMS 临界尺寸放大标样

Pelcotec™ CDMS 校准标样是一种独特的经济实惠、功能齐全、可追溯的校准标样，可用于快速精准的扫描电镜(SEM)、场发射扫描电镜(FESEM)、离子束刻蚀(FIB)、CD-SEM、LM和AFM放大倍数校准。这些标样采用最新的半导体和微机电系统(MEMS)制造技术制成，可以覆盖广泛的测量范围。

Pelcotec™ CDMS-1标样的特征尺寸范围为2mm、1mm、0.5mm、0.25mm、10µm、5µm、2µm和1µm。

而Pelcotec™ CDMS-0.1的特征尺寸范围为2mm、1mm、0.5mm、0.25mm、10µm、5µm、2µm、1µm、500nm、250nm和100nm。

Pelcotec™ CDMS 标样采用超平整的硅衬底制成，采用精密的50nm铬沉积技术制造特征尺寸小于5µm的部分，而采用50nm金/20nm铬的组合制造2µm到100nm的特征尺寸。铬和金/铬在硅基底上提供了卓越的SE和BSE成像模式对比度，比刻蚀硅标样更易于确定特征。由于硅衬底、铬和铬/金特征都具有导电性，因此该校准标样不存在充电问题。由于其坚固的结构，CDMS标样可使用等离子体清洗器进行清洁。

较小的特征尺寸被嵌套在一起，以便于导航和快速校准。特征的精度为0.3%或更高。标样的实际尺寸为2.5 x 2.5mm，厚度为525µm ±10µm，在硅表面上没有涂层。每个Pelcotec™ CDMS校准标样都有一个独特的识别编号。

Pelcotec™ CDMS校准标样可供选择不安装或安装在SEM样品台A-R上。对于AFM应用，Pelcotec™ CDMS安装在12mm的AFM圆片上，而对于LM应用，则安装在25 x 75mm的载玻片上。也可以制备在自定义的支架上。