MM-S100离子溅射仪
详情介绍
MM-S100离子溅射仪是一款结构紧凑的桌上镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。
主要特性
l 操作容易快捷，控制的参数包括放气以及氩气换气控制。
l 通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。
l 可使用多种金属靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au 靶为标配），靶材更换快速方便。
l 数字化的喷镀电流控制不受样品室内气压影响，可得到一致的镀膜速率和高质量的镀膜效果。
技术参数
| 参数 | |
| 样品室大小 | 直径120mm x120mm |
| 样品台旋转速度 | 0-60rpm连续可调（可选功能） |
| 样品台倾斜角度 | 90~90“连续可调（可选功能） |
| 溅射电流 | 5~30mA可调,程序化数字控制 |
| 溅射控制 | 微处理器控制,安全互锁,可调 |
| 抽气速率 | 133L/MIN |
| 极限真空 | 0.05 Pa |
| 噪音 | 56dB |
